供应进口SMS-1680A溅镀机

         供应进口SMS-1680A溅镀机

    适用范围：
    装饰性的应用：各色有金属感的镀膜
    黑灰色系：可以依制程制程调制做各种灰度的颜色
    白色系：有质感的象牙白、黄白色
    彩色系：针对较平面区域可以选择性做成各种彩色
    无电气特性且有光泽的金属镀膜

         主要用途：
    半导体业的金属层（导电层、扩散障碍层等）、光电业ITO透明导电层、机械加工刀具业的表面硬化层、光学镜面的光学膜、3C产业、EMI镀膜


溅镀过程

a，真空至10E-4mbar范围

b，注入氩气至10E-3 bar范围

c，施以直流电压

d，氩气在电场中被离子化，产生氩离子及自由电子

e，因电场关系，氩离子向阴极（靶材）加速，自由电子向阳极加速

f，被加速的氩离子和自由离子撞向其他氩原子，因动能转移，使更多的氩原子被离子化

g，大量氩离子撞击靶材表面，氩离子的动能转移至靶材原子，一部分转化为靶材原子的动能，一部分转化为热，因此靶材必须用冷却水冷却

h，当靶材原子获得足够的动能，就会脱离靶材表面并自由在溅镀腔体内移动，最后覆盖于基板表面

i，靶材下的磁场会提高等离子体的一致性，改变溅镀层的厚度均匀性